GSL-1100X-SPC016C — компактная установка вакуумного напыления.
Компактная ситема сочетает в себе функции плазменного напыления и испарения. Разработанна для подготовки образцов SEM и EDAX перед анализом их микроструктуры и состава на микроплощадях. Возможно работать со многими материалами, включая углерод.
Технические характеристики:
|
Питание
|
220В, 50Гц
|
|
Мощность
|
< 2000Вт (с учетом насоса)
|
|
Выходная мощность
|
Плазменное напыление: 1600В постоянный ток, 50мА макс.
Испарение: 10В переменный ток, 20А макс. (для вольфрамовой катушки)
|
|
Камера
|
из закалённого стекла Æ160мм, высота 110мм
|
|
Предметный столик для образца
|
· Æ50мм
· Макс площадь напыления Æ45мм
· Оснастка для испарения в комплекте, для покрытия лёгких металлов, таких как Al, Li, Mg
|
|
Газовая атмосфера
|
· Один игольчатый клапан для аргона, обеспечивающий достижение наилучшей плазмы
|
|
Мишень и источник испарения
|
· Au мишень в комплекте Æ50мм х 0,12мм
· Углеродное волокно для испарения
|
|
Вакуумный насос
|
Двухступенчатый роторный насос 156л/мин с ловушкой паров (макс. вакуум 10-2Торр)
Гофрированная трубка из нержавеющей стали с адаптером KF16 и хомутами
|
|
Внешние габариты
|
360мм × 300мм × 380мм (Д×Ш×В)
|
|
Вес нетто
|
50кг
|