DC/ВЧ установка магнетронного распыления с двумя магнетронами VTC-600-2HD
VTC-600-2HD – система магнетронного распыления с двумя магнетронами:
1) DC — магнетрон для нанесения металлических покрытий
2) ВЧ — магнетрон для нанесения диэлектриков.
Данная высокотехнологичная установка позволяет наносить как однослойные, так и многослойные покрытия широкого диапазона материалов (сегнетоэлектриков, проводников, сплавов, полупроводников, керамики, диэлектриков, оптических, оксидных, тугоплавких, фторопластов и др.).
Характеристики:
|
Напряжение
|
Мощность: 2000 Вт (включая насос и чиллер)
220В, 50Гц
|
|
Источник энергии
|
· DC — источник 500W для металлических материалов; (рис. слева)
· ВЧ — источник 300W, с частотой 23.56МГц, для неметаллов (рис. справа)
|
|
Магнетрон
|
· Два магнетрона с подводом водяного охлаждения
o Один соединен с DC — источником для нанесения металлических покрытий
o Второй с ВЧ-источником
· Размер мишени (Ø): 50,8мм
o Диапазон толщин 0.1 — 5, мм для металлических и неметаллических мишеней
o 3,175мм для диэлектрических мишеней
· В комплекте идут одна Al и одна Al2O3 мишени (для проведения тестов)
· Опционально: два DC источника без ВЧ; два ВЧ источника без DC.
·
Опционально: ВЧ кабель 148,см
|
|
Вакуумная камера
|
· Камера: Ø 300 х 300(В), мм (нерж. сталь)
· Смотровое окно: Ø 100,мм.
· Крышка с пневматической системой, позволяет легко менять мишень
|
|
Держатель подложек
|
Обеспечивает возможность вращения и разогрева подложек
Размер: Ø 140 мм для подложек Ø 101,6мм
Скорость вращения: 1 — 20 об/мин (регулируемая, для наилучшей однородности покрытия)
Температура держателя до 500°C с точностью ±1°C, регулируемая посредством цифрового контроллера
|
|
Контроль расхода газа
|
· Два высокоточных расходометра, возможность напуска двух типов газов;
· Расход 0-200 мл/мин регулируемый на сенсорном экране панели;
· клапан впуска воздуха для спуска вакуума;
|
|
Вакуумная станция
|
· Мобильная вакуумная станция в комплекте. Система напыления может быть помещена сверху.
· Высокоскоростной турбомолекулярный насос совмещен с двухступенчатым механическим насосом 220л/мин для максимального уровня вакуумирования и быстрой скорости накачки.
· Стандартный вакуум: <4.0E-5 Торр
· Макс. уровень вакуума: 1.0Е-6 Торр
|
|
Чиллер
|
· Цифровой циркулирующий чиллер с контролем температуры в комплекте.
· Диапазон охлаждения: 5-23оС
· Расход: 16л/мин
· Давление насоса: 14 psi
|
|
Опционально:
|
· оксидные и металлические мишени
· кварцевое устройство измерения толщины плёнок (которое можно поместить в камеру, для ослеживания толщины с точностью 0.10А)
· отражающий спектрометр для измерения толщины плёнки до 15нм, с программным обеспечением. (ПК в комплект не входит)
|
|
Габариты системы напыления
|
1220 х 710 х 812мм
|
|
Вес
|
Система напыления: 160 кг
|
|
Отгрузка
|
На двух паллетах общим весом 422 кг
|
|
Примечания
|
· На баллон с газом необходимо установить редуктор, для ограничения выходного давления ниже 0.02МПа, в целях безопасности.
· Для того чтобы удалить кислород из камеры, используйте смесь 5% водорода + 95% азота. Совершая напуск в камеру, повторите процедуру 2-3 раза, это поможет снизить содержание < 10 промилле
· Для чиллера необходимо использовать охлаждающую жидкость либо дистиллированную воду, либо смешивать антикоррозийные примеси вместе с водой.
|