Настольная установка магнетронного плазменного напыления – VTC-16-SM
Настольная установка магнетронного плазменного напыления – VTC-16-SM
VTС-16-SM – установка магнетронного плазменного напыления с 50мм высоковакуумным источником распыления и вращающимся держателем образцов, предназначена для нанесения различных металлических пленок на пдложках диаметром до 100мм, включая Zn, Al, Ti и др.
Технические характеристики:
|
Входное напряжение
|
220В, 50Гц
|
|
Энергопотребление
|
<2500Вт (включая насос)
|
|
Выходная мощность
|
1600В постоянного тока
250Вт
макс. 150мА
встроенная защита
|
|
Камера для образцов
|
Кварцевое стекло
167(внеш.∅) х 152(внутр.∅) х 260(В), мм
|
|
Распылительная головка и площадка для образцов
|
· 50мм источник распыления с системой водяного охлаждения.
· Встроенная площадка для образцов ∅ 50мм, вращающаяся: 0-5 об/мин.
· Ручной затвор, для достижения наилучшего напыления.
· Установлен фиксатор для размещения распылительной головки при открытой камере.
· Расстояние между распылительной головкой и площадкой регулируемое, от 60 до 100мм.
· В комплекте один циркуляционный водный чиллер с расходом 10л/мин
|
|
Панель управления
|
· Сенсорная панель 150мм с ПЛК, которая обеспечивает легкость в эксплуатации.
· Регулирует и контролирует все параметры: вакуум, ток, позицию мишени и температуру нагрева подложки.
|
|
Газовая атмосфера
|
· Установлен один игольчатый клапан, для подачи аргона, что обеспечивает наилучшее плазменное покрытие.
· Необходим баллон с аргоном и редуктором (в комплект поставки не входит)
|
|
Мишени
|
· Размер мишени: ∅50 х 2.5 мм толщиной. Одна медная мишень в комплекте.
· Возможность нанесения Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg и т.д. (данные мишени доступны по запросу)
|
|
Опционально
|
Нагреваемая площадка до 500оС
|
|
Размеры
|
440Д х 330Ш х 290В (без распыляемой головки)
|
|
Вес нетто
|
20кг (не включая насос)
|
|
Гарантия
|
1 год ограниченной гарантии
|