Система выращивания монокристаллов методом Чохральского, с вакуумной камерой — SKJ-50CZ-LD
SKJ-50CZ– система выращивания кристаллов в печи методом Чохральского с температурой плавления материалов до 2100°С, таких как сапфир, гадолиний-галлиевый гранат, алюмо-итритиевый гранат, алюминат лантана, кремний, германий и других диаметром до 75мм.
Технические характеристики:
| Электропитание | · 220 В, Три фазы, 50 кВт, 100 А
· 0,2-20 кГц |
| Температура нагрева | · Максимальная температура до 2100 °С
· Точность поддержания температуры < ±0,2 °С |
| Вакуум | · 10-3 Торр с использованием механического насоса (в комплекте)
· 10-5 Торр с использованием диффузионного насоса (опционально) |
| Вакуумная камера | · Габариты Ø500х700 мм |
| Водяное охлаждение | · Вода проходит через камеру и монокристаллический затравочный стержень
· Давление воды 0,13-0,18 МПа · Расходы воды 60 л/мин |
| Контроль | · Электронный контроль скорости вытягивания, вращения и температуры в печи |
| Устройство вытягивания | · Приводится в движение с помощью электродвигателей с постоянным крутящим моментом
· Скорость вытягивания 0,1-20 мм/ч · Максимальная высота перемещения затравочного стержня 400 мм · Скорость вращения 0-40 об/мин |
| Механический насос | · Предельный вакуум 6*10-2 Па
· Скорость откачки 8 л/сек · Скорость вращения 1420 об/мин · Мощность двигателя 1,1 кВт · Электропитание АС 380 В, три фазы · Заполнение маслом 1,8 л · Предельная температура 90 °С · Вес 53 кг · Габариты 560х184х306 мм |
| Диффузионный насос | · Предельный вакуум ≤1.3*10-4 Па
· Скорость откачки ≥500 л/с · Максимальное время работы 1 час (требуется 45 минут предварительного прогрева) · Температура воды для охлаждения 20±5 °С · Расход воды для охлаждения ≥ 300 л/ч · Мощность двигателя 1,8 кВт · Электропитание АС 220 В, одна фаза · Заполнение маслом 0,7 л |
| Опционально | · Иридиевый тигель и тугоплавкие компоненты |
| Габариты | · Установка выращивания кристаллов 880х1250х2640 мм
· Блок управления 680х540х1700 мм · Блок электропитания 965х812х1219 мм |
| Вес | · 2200 кг |